*终抛光液是为了去除金刚石抛光步骤后留下的*后一层表面变形/划痕。针对不同的材料类型和制备分析要求，标乐有多种氧化物抛光介质可供选择。
终抛液是否会结晶？ 终抛液在使用过程中有可能结晶，悬浮液由于结晶温度较低且容易蒸发，并可能在抛光表面形成难以去除的晶体。这在MasterMet等常规二氧化硅悬浮液中很常见，但也有不结晶的终抛液，如 MasterMet 2。在使用常规二氧化硅悬浮液抛光后，建议立即清洗抛光布，以防结晶。非结晶型二氧化硅悬浮液则不用担心二氧化硅的结晶，因此清洁要求较低，使用过程中具有一定的优势，尤其在振动抛光时。
下图(a)显示了常规二氧化硅在低速清洗抛光后几秒钟的再结晶效果。 悬浮液在表面形成了一个玻璃层，在随后的清洁过程中往往会裂开，造成轻微的划痕，并在表面嵌入二氧化硅污染物。
上图(b)显示了放置几分钟的终抛液滴，以进一步说明蒸发效应和随后的再结晶。MasterMet和MasterPrep都会结晶，建议在抛光后立即清洗样品和抛光布，所以在终抛*后10-15秒用水边抛光边冲洗。用水冲洗表面也有助于保证抛光布的表面清洁，确保抛光布有更长的使用寿命。
终抛液使用量？ 氧化物抛光悬浮液通常用在柔软绒毛抛光布或无纺抛光布上，如MicroFloc、MicroCloth、MasterTex或ChemoMet等。使用时确保抛光布的表面被悬浮液充分浸润，柔软绒毛抛光布或无纺抛光布在使用过程中能保留足够的液体，以确保抛光效果。下图中展示了确保抛光性能的氧化物抛光液理想用量（保证润湿性）。
清洁注意事项？ 强烈建议在*后抛光步骤的*后10-15秒，通过用水冲洗表面来预清洁样品和抛光布，如下图所示。用水冲洗表面有助于去除抛光布表面和样品上的氧化物抛光介质。这样做的好处是通过表面干净的抛光布来确保抛光的可重复性，同时也提高了抛光布的使用寿命。