MC1000离子溅射仪
由日立高新技术公司自行设计制造,针对扫描电镜的精细**需求而设计,适合微观结构较复杂的样品,尤
其适合于场发射扫描电镜的高倍率观测应用。
主要特点:
1. 操作方便且有记忆功能,首 创LCD触摸屏控制技术,可存储五种处理方案; 2. 通过磁场控制金属颗粒的溅射喷镀轨迹,从而使镀层更均匀; 3. 通过选配测量单元可实现1nm至30nm的镀层厚度控制。