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原子力显微镜 Park NX20
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针对失效分析和大样本研究的原子力显微镜


作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20这款全球精密的大型样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬。

    
大**的分析功能

Park NX20具备有一无二的功能，可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。

****的精密度为您带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。与此同时，真正非接触扫描模式让探针**更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和**。

                      易于操作
ParkNX20拥有业界便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。
为FA和研究实验室提供**的形貌测量解决方案

样品侧壁三维结构测量


NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量它们的角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必备的。

对样品和基片进行表面光洁度测量


表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来**的失效分析和质量保证。

高分辨率电子扫描模式


QuickStep SCM

扫描式电容显微镜


PinPoint AFM
无摩擦导电原子力显微镜

多种独有的砖利技术帮助顾客减少测试时间

CrN样品所做的针尖磨损实验


通过对比重复扫描情况下探针**的形状变化，您可以轻易看到Park的真正非接触模式的优势所在。

                

AFM测量


借助真正非接触模式，探针**在扫描氮化铬样品（即探针检测样品）200次后仍可保持锋利的状态。

氮化铬的表面粗糙且研磨性强，会让普通的探针很快变钝。


低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌
没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌
超低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像，没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。
· 使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量    
· 在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm
         · 没有前沿或后沿过冲现象
· 无需校准，减少设备维护成本

Park NX系列原子力显微镜



传统的原子力显微镜