从380nm~1050nm的可视光至近红外实现大范围波长区域中的分光测定
奥林巴斯的近红外显微分光测定仪USPM-RU-W可以高速&高精细地进行可视光区域至近红外区域的大范围波长的分光测定。
由于其可以很容易地测定通常的分光光度计所不能测定的细微区域、曲面的反射率,因此十分适用于光学元件与微小的电子部件等产品。
使用一台即可进行反射率、膜厚、物体颜色、透过率、入射角45度反射率的各种分光测定。
测定反射率 测定以物镜聚光φ17~70μm的微小点的反射率。 反射率测定光路图
反射率测定例:镜片 反射率测定例:镜片周边部位
膜厚测定的图例
测定膜厚
测定物体颜色
从受台下部透过φ2mm的平行光,测定平面样品的透过率。(选配)
透过率测定光路图
光学系图
使用平面光栅及线传感器进行全波长同时分光测定,从而实现高速测定。
反射率测定图例
*适用于测定细小部件、镜片的反射率
消除背面反射光的原理
定反射率时,不需要背面防反射处理
可选择的膜厚测定方法 根据测定的分光反射率数据进行单层膜或多层膜的膜厚解析。可以根据用途选择*佳的测定方法。
峰谷法膜厚解析经过信息图例 峰谷法 这是一种根据测定的分光反射率值的峰值与低谷的周期性计算出膜厚的方法,对于测定单层膜是有效的。不需要复杂的设置,可以简单地求出。
峰谷法膜厚解析经过信息图例
傅里叶转换法膜厚解析经过信息图例
傅里叶转换法
曲线调整法膜厚解析经过信息图例
曲线调整法
数码相机镜片
适用于LED反射镜、半导体基板等微小电子部件的反射率测定、膜厚测定。
适用于平面光学元件、彩色滤镜、光学薄膜等的反射率测定、膜厚测定、透过率测定。
适用于棱镜、反射镜等45度入射产生的反射率测定。
USPM-RU-W近红外显微分光测定仪规格:
*1 选件组件 *2 本社测定条件下的测定 *3 装配透过率测定套件与45度反射测定套件的总重量为33kg。
*4 点径